(a) prinsip pembagian pemurnian sistem pendingin udara

1, kebersihan, suhu, kelembaban dan keakuratannya dari ruang bersih yang sama atau serupa harus dibagi menjadi sistem pendingin udara pemurnian. Mudah untuk mengontrol kebersihan, suhu, dan kelembapan. 2. Ruang bersih yang berdekatan harus diklasifikasikan sebagai suatu sistem, yang dapat mengurangi panjang jaringan pipa sistem dan persilangan jaringan pipa.

3. Bila kondisinya memungkinkan, sistem pendingin udara pemurnian aliran campuran dapat terdiri dari 4, 5 aliran searah dan 6, 7, dan 8 aliran tidak searah.

4, ruang bersih tidak boleh digabungkan dengan ruang pendingin udara umum sebagai suatu sistem.

5, penggunaan hukum dan waktu penggunaan tidak sama dengan ruang bersih yang tidak cocok untuk sistem pendingin udara pemurnian.

6, produksi debu, panas, zat berbahaya, ruang kebisingan harus dirancang sebagai sistem terpisah.

7. Ruangan yang sangat beracun dan dapat menimbulkan kebakaran dan ledakan setelah tercampur tidak boleh digabungkan menjadi satu sistem pendingin udara pemurnian.

8, terdapat zat yang sangat beracun, mudah terbakar, dan meledak a, b ruangan harus menjadi sistem terpisah, dan tidak boleh mengembalikan sistem udara dc.

9, sistem pendingin udara pemurnian tidak mudah terlalu besar. Secara umum, volume pengiriman udara pemurnian tidak boleh melebihi 100.000 m; jika tidak, peralatan pengolahan udara terlalu besar, berisik, saluran udara balik besar, menempati ruang dan area yang besar, dan penggunaannya tidak fleksibel.

10, divisi sistem pendingin udara bersih juga harus mempertimbangkan tata letak saluran udara, saluran balik, saluran pembuangan dan air, listrik, gas dan jaringan pipa lainnya, sejauh mungkin membuat manajemen yang wajar, singkat, mudah digunakan, mengurangi persimpangan dan tumpang tindih.

11. Pengolahan panas, kelembaban dan pemurnian udara segar pada sistem pendingin udara dapat dilakukan secara terpusat atau terdesentralisasi.

Prinsip pembagian sistem pembuangan udara lokal peralatan proses

1. Sistem pembuangan udara parsial dari peralatan proses tidak boleh terlalu besar, dan titik pembuangan udara dari setiap sistem pembuangan udara tidak boleh terlalu banyak, sehingga manajemen dan penyesuaian udara pembuangan menjadi nyaman dan efek udara pembuangannya baik.

2. Satu sistem pembuangan udara tidak boleh melewati dua atau lebih sistem pendingin udara pemurnian.

3. Udara buangan yang setelah tercampur menghasilkan zat-zat yang sangat beracun, mudah meledak, mudah terbakar, pengembunan, kristalisasi dan berbahaya, tidak boleh digabungkan ke dalam satu sistem udara buangan.

4. Udara buangan dari berbagai ruangan dan peralatan tidak boleh digabungkan menjadi satu sistem pembuangan udara.

5. Perbandingan dan pemilihan jenis pasokan udara pada sistem pendingin udara pemurnian ruang bersih

(a) pemurnian dan penyediaan udara pendingin udara jenis penyediaan udara gabungan, biasanya juga dikenal sebagai jenis penyediaan udara terpusat. Skema unit penjernih udara (air handling unit AHU) yang dipasang di ruang AC, penjernihan seluruh suplai udara AC dilakukan di unit penjernih udara dan proses panas basah, dan saluran suplai udara besar akan menyalurkan seluruh udara ke ruang bersih condole top, repass terletak di langit-langit ruang bersih pada terminal hepa filter atau filter yang efisien untuk membersihkan outlet pasokan udara dalam ruangan disaring, untuk mewujudkan proses ruang bersih diperlukan suhu, kelembaban, kebersihan, dan perbedaan tekanan ruangan, Udara yang kembali ke ruang bersih melewati saluran masuk udara dan saluran udara kembali, lalu dihubungkan ke unit pendingin udara pemurnian di ruang pendingin udara. Setelah bercampur dengan udara segar, pemurnian udara dan perlakuan panas dan kelembapan diulang. Skema ini dapat dibagi menjadi skema pasokan udara segar penuh (sistem dc); Satu program pengembalian udara; Skema pengembalian udara pertama dan kedua serta skema MAU plus FFU adalah empat jenis pasokan udara yang berbeda. Skema pasokan udara ini merupakan skema pasokan udara yang paling umum digunakan untuk ruangan bersih, khususnya ruangan bersih dengan aliran non-satu arah. Pembagian sistem skema pasokan udara ini jelas, dan kontrol serta pengaturan volume udara, suhu, dan kelembaban bersifat tunggal. Namun, ketika tingkat kebersihan lebih tinggi dan volume pasokan udara lebih besar, ruang pendingin udara menempati area yang besar, volume pasokan udara dan pipa udara balik menempati area dan ruang yang besar, pasokan udara dan pipa udara balik panjang, tekanan sisa kipas pasokan udara tinggi, kebisingannya besar, dan pasokan udara mengonsumsi listrik dalam jumlah besar. Oleh karena itu, skema pasokan udara ini lebih cocok untuk pasokan udara ruang bersih aliran non-searah tingkat bawah, dan kurang ekonomis dan tidak masuk akal untuk pasokan udara ruang bersih aliran satu arah di atas tingkat 5.

1. Skema suplai udara AHU dengan udara segar (sistem dc)

Skema pasokan udara pemurnian udara segar penuh digunakan dalam skema pasokan udara khusus untuk ruangan bersih yang tidak memperbolehkan aliran udara balik. Misalnya, proses produksi ruang bersih digolongkan sebagai tingkat bahaya kebakaran golongan a dan golongan b, atau prosesnya menghasilkan zat-zat yang sangat beracun dan zat-zat berbahaya lainnya yang tidak diperbolehkan masuk ke dalam udara bersih dalam sistem penyediaan udara bersih.

2. Skema suplai udara pengembalian udara primer AHU

Skema pasokan udara pengembalian udara primer biasanya digunakan di ruang bersih dengan nilai kalor atau hasil kelembapan yang besar, dan pasokan udara panas atau kelembapan sisa dalam ruangan lebih besar dari, sama dengan atau mendekati pasokan udara pemurnian di ruang bersih aliran non-satu arah dengan tingkat kebersihan rendah.

3. Skema suplai udara AC purifikasi dengan AHU primer dan sekunder

Dalam rangka menghemat energi, menghilangkan panas udara dan panas dalam proses pengolahan panas dan kelembapan saling mengimbangi, dalam pemurnian ruang bersih kapasitas pasokan udara lebih besar dari kapasitas pasokan udara AC untuk menghilangkan sisa panas dan kelembapan, yang terbaik adalah menggunakan program pengembalian udara pertama dan kedua, desain titik pencampuran kedua dalam titik pasokan udara sistem, sisi ini adalah yang paling hemat energi, program pasokan udara paling ekonomis.

4. Skema pasokan udara MAU+RAU untuk pemurnian AC

Solusi ini untuk kebersihan ruangan bersih yang berganda, suhu, kelembapan, persyaratan yang berbeda, hasil panas dalam ruangan dan kadar kelembapan juga serupa, untuk memastikan bahwa masing-masing kebersihan ruangan bersih, suhu, kelembapan dan persyaratan presisi, untuk mengatur beberapa unit siklus, keluaran udara melingkar dari unit tersebut adalah untuk memurnikan keluaran udara, dan di dalam unit, mengatur panas yang diperlukan, peralatan pemrosesan basah, digunakan untuk melengkapi kekurangan unit udara segar, proses basah dan panas memastikan bahwa suhu ruangan bersih dan bagian penyetelan halus presisi kelembapan. Karena unit sirkulasi terletak di langit-langit ruang bersih, tekanan sisa pasokan udara unit sirkulasi relatif kecil, volume unit serta kebisingan dan getaran unit juga kecil, dan saluran udara balik relatif pendek. Namun, perlu memperhatikan pembuangan kondensat dari unit sirkulasi. Unit udara segar dalam skema ini terletak di ruang pendingin udara, dan semua udara segar yang dibutuhkan untuk ruang bersih ini dimurnikan oleh unit udara segar (MAU) dan penanganan panas dan kelembapan yang terpusat. Kemudian didistribusikan ke setiap unit siklus dan dicampur dengan udara kembalinya. Volume udara segar pada unit udara segar seharusnya tidak hanya melengkapi udara buangan pada setiap ruang bersih tetapi juga memastikan tekanan positif pada setiap ruang bersih. Perlakuan panas dan kelembapan pada unit udara segar sebaiknya diarahkan ke titik embun mekanis udara di ruang bersih. Jika titik perlakuan panas dan kelembapan udara segar lebih rendah dari titik embun mekanis ruang bersih, udara segar tidak hanya akan menanggung beban basah udara segar itu sendiri, tetapi juga menghilangkan beban basah ruang bersih. Pada saat ini, pendingin permukaan di unit sirkulasi dapat menjadi pendingin permukaan kering.

Skema pemurnian pasokan udara dan pemisahan pasokan udara dari pendingin udara biasanya disebut skema pasokan udara semi-terpusat atau terdesentralisasi. Untuk menghemat konsumsi energi secara signifikan pada waktu pengoperasian, akan menghilangkan sisa panas dalam ruangan yang bersih dan keluaran udara AC basah (biasanya jauh lebih sedikit daripada keluaran udara pemurnian ruangan bersih), oleh unit udara ruangan AC (MAU) yang diperlukan untuk pemurnian dan pemrosesan basah panas, dan total 50 hingga 90% dari jaminan kemurnian ruangan bersih untuk memurnikan keluaran udara oleh unit sirkulasi dekat ruangan bersih untuk memurnikan dan menambahkan pemrosesan basah panas, atau langsung menggunakan kepala pada unit penyaring kipas langit-langit) dan kumparan kering untuk menyelesaikan tingkat kebersihan ruangan bersih dan suhu penyetelan halus. Skema pasokan udara ini, yang dipisahkan dari pasokan udara oleh pendingin udara, tidak hanya dapat menghemat energi untuk pengoperasian, tetapi juga sangat mengurangi luas ruang pendingin udara, menghemat pasokan udara besar dan saluran pipa balik, serta mengurangi ketinggian ruang bersih. Skema penyediaan udara pemurnian tersebut dapat dibagi menjadi: skema penambahan unit kipas penyaring (FFU) pada unit pendingin udara (AHU), skema penambahan unit siklus udara segar (MAU) (RAU) (FFU); Unit udara segar (MAU) + unit filter kipas (FFU) + tabung dingin kering

(DC) dan tiga skema pasokan udara lainnya.

1. Skema penyediaan udara unit pendingin udara AHU (MAU) dan unit penyaring kipas (FFU) pada skema ini, seluruh beban panas dan basah sistem pendingin udara (beban panas dan basah yang dihasilkan di ruang bersih dan beban panas dan basah udara segar) ditanggung oleh unit pendingin udara yang berada di ruang pendingin udara. Pada saat ini, pasokan udara dari unit pendingin udara adalah pasokan udara untuk menghilangkan sisa panas dan kelembapan sistem (termasuk semua udara segar dan sebagian udara balik, tetapi jauh lebih sedikit daripada pasokan udara pemurnian untuk memastikan kebersihan ruang bersih), dan harus mampu memastikan suhu dan kelembapan relatif ruang bersih tetap konstan. Kebersihan ruang bersih dipastikan oleh unit penyaring kipas (FFU) pada langit-langit ruang bersih yang mengalirkan dan menyaring pasokan udara murni. Perlu diperhatikan dalam skema ini, panas yang dihasilkan selama pengoperasian FFU juga harus ditanggung oleh unit pendingin udara. Skema ini lebih cocok untuk ruang bersih aliran campuran dengan aliran searah vertikal parsial di ruang bersih aliran non-searah yang besar.

2. Unit udara segar (MAU) plus (he) unit siklus dan unit filter kipas (kepala) untuk memurnikan skema pasokan udara pendingin udara, skema ini untuk lebih banyak kebersihan ruangan bersih, suhu, kelembaban, persyaratan yang berbeda, hasil panas dalam ruangan dan kadar air juga mirip, untuk memastikan bahwa masing-masing kebersihan ruangan bersih, suhu, kelembaban dan persyaratan presisi, untuk mengatur beberapa unit siklus, keluaran udara melingkar dari unit tersebut adalah untuk memurnikan keluaran udara, dan di dalam unit, mengatur panas yang diperlukan, peralatan pemrosesan basah, digunakan untuk melengkapi kekurangan panas unit udara segar, proses basah dan memastikan bahwa suhu ruangan bersih dan bagian penyetelan halus presisi kelembaban. Karena unit sirkulasi terletak di langit-langit ruang bersih, tekanan sisa pasokan udara unit sirkulasi relatif kecil, volume unit serta kebisingan dan getaran unit juga kecil, dan saluran udara balik relatif pendek. Namun, perlu memperhatikan pembuangan kondensat dari unit sirkulasi. Unit udara segar dalam skema ini terletak di ruang pendingin udara, dan semua udara segar yang dibutuhkan untuk ruang bersih ini dimurnikan oleh unit udara segar (MAU) dan penanganan panas dan kelembapan yang terpusat. Kemudian didistribusikan ke setiap unit siklus dan dicampur dengan udara kembalinya. Volume udara segar pada unit udara segar seharusnya tidak hanya melengkapi udara buangan pada setiap ruang bersih tetapi juga memastikan tekanan positif pada setiap ruang bersih. Perlakuan panas dan kelembapan pada unit udara segar sebaiknya diarahkan ke titik embun mekanis udara di ruang bersih. Jika titik perlakuan panas dan kelembapan udara segar lebih rendah dari titik embun mekanis ruang bersih, udara segar tidak hanya akan menanggung beban basah udara segar itu sendiri, tetapi juga menghilangkan beban basah ruang bersih. Pada saat ini, pendingin permukaan di unit sirkulasi dapat menjadi pendingin permukaan kering.

Bahasa Indonesia:Ketika lebih dari satu di ruang bersih memiliki sejumlah level 1, 10, 100 tingkat pemurnian tinggi ruang bersih uniflow vertikal, untuk mengurangi beban unit sirkulasi (he) dan untuk mengirim dan mengembalikan bagian saluran udara, unit sirkulasi hanya memecahkan keluaran udara pendingin udara ruang bersih uniflow, untuk memastikan suhu ruang bersih, kelembaban relatif dan tekanan positif ruang bersih, dan sebagian besar menyumbang lebih dari 90% pengiriman terletak di langit-langit ruang bersih Panel di kepala untuk membebani, untuk memastikan tingkat kebersihan ruang bersih yang tinggi. 3. Unit udara segar (MAU) plus unit penyaring kipas (kepala) dan tabung dingin kering (DC) dari rencana pasokan udara pendingin udara pemurni adalah udara segar akan menjadi kru udara segar untuk membersihkan ruang panas basah daripada garis dan kelembaban relatif di bawah 95% persimpangan garis, beban kelembaban udara segar dari kru tidak hanya itu sendiri, tetapi juga membebani beban kelembaban dalam ruangan yang bersih, unit udara segar untuk memastikan bahwa kelembaban relatif dari kebutuhan ruang bersih. Beban pendinginan kering pada bagian perlakuan panas unit udara segar yang tidak mencukupi akan dilengkapi oleh pendingin permukaan kering yang terletak di langit-langit ruang bersih (atau di dalam terowongan). Karena pendingin meja kering terletak pada langit-langit gantung atau dalam terowongan yang dilalui udara sirkulasi FFU, beban pendinginan kering yang dihasilkan oleh pendinginan meja kering dibawa ke ruang bersih oleh udara sirkulasi. Udara segar yang diolah oleh unit udara segar dikirim ke kotak tekanan statis pasokan udara di ruang bersih melalui saluran pipa yang dapat tercampur paling merata dengan udara sirkulasi FFU. FFU dipasang di langit-langit ruang bersih. Udara yang bersirkulasi dicampur dengan udara segar, kemudian disaring oleh FFU dan dikirim ke ruang bersih setelah disaring oleh filter HEPA untuk memastikan kebersihan ruang bersih. Spesifikasi FFU terutama 1200mm×600mm dan 1200mm×1200mm, yang kecepatan angin bagiannya harus ≥0,45m/s, tekanan sisa harus ≥120Pa, dan kebisingan harus ≤50dB(A). Volume udara kipas FFU harus dapat disesuaikan, filter efisiensi tinggi harus dapat diganti. Kumparan dingin kering umumnya terdiri dari dua baris. Untuk mengurangi jarak antara sirip aluminium resistansi ≥3mm, kehilangan resistansi harus 30~40Pa. Kecepatan angin permukaan dari angin yang bersirkulasi melalui kumparan kering < 2m/s, dan lebih baik 1,5m/s. Suhu air masuk ke air dingin kumparan kering harus 2℃ lebih tinggi daripada suhu titik embun ruang bersih, yang biasanya disebut air dingin sedang. Meskipun disebut kumparan kering, kondensat dapat terbentuk selama pengoperasian awal, sehingga kumparan kering juga harus dilengkapi dengan baki tetesan kondensat dan alat penguras air.

Dalam skema ini, kelembapan relatif ruang bersih dijamin oleh unit udara segar (MAU), suhu ruang bersih dijamin oleh koil dingin kering, dan kebersihan ruang bersih dijamin oleh FFU. Rencana pasokan udara pendingin udara DC dengan kepala MAU plus dan pemurnian, saat ini di industri mikroelektronika (IC) negara kita dan luar negeri, industri optoelektronika (TFT - LCD, LCD, LED, dll.) dan sebagainya di area yang luas, bengkel bersih dengan tingkat kebersihan tinggi tersedia secara luas, penyesuaiannya mudah, penghematan energi yang signifikan, dapat beradaptasi dengan proses peningkatan, dan sangat menghemat area non-produksi serta keuntungan dari ruang non-produksi. Selain itu, dengan terus berkembangnya teknologi bersih dan peralatan bersih, efisiensi kipas FFU terus ditingkatkan, konsumsi daya terus dikurangi, dan harga keseluruhan terus dikurangi. Investasi awal pada dasarnya sama dengan jenis skema pasokan udara lainnya, tetapi biaya pengoperasiannya sangat dihemat.