(a) pemurnian prinsip pembagian sistem pendingin udara

1, kebersihan, suhu, kelembaban dan akurasinya dari kamar bersih yang sama atau serupa harus dibagi menjadi sistem pendingin udara pemurnian. mudah untuk mengontrol kebersihan dan suhu dan kelembaban. 2. ruang bersih yang berdekatan satu sama lain harus diklasifikasikan sebagai sistem, yang dapat mengurangi panjang pipa sistem dan persimpangan pipa.

3. ketika kondisi memungkinkan, sistem pengkondisian udara pembersih aliran campuran dapat terdiri dari 4, 5 aliran searah dan 6, 7 dan 8 aliran non-searah.

4, ruang bersih tidak boleh digabungkan dengan ruang pendingin udara umum sebagai suatu sistem.

5, gunakan hukum dan waktu penggunaan tidak sama dengan kamar yang bersih tidak cocok untuk sistem pendingin udara pemurnian.

6, produksi debu, panas, zat berbahaya, ruang kebisingan harus dirancang sebagai sistem terpisah.

7. ruangan yang sangat beracun dan menyebabkan kebakaran dan ledakan setelah pencampuran tidak boleh digabungkan menjadi satu sistem pendingin udara pemurnian.

8, ada yang sangat beracun dan mudah terbakar dan meledak, b kamar harus merupakan sistem yang terpisah, dan tidak boleh mengembalikan sistem udara dc.

9, sistem pendingin udara pemurnian tidak mudah menjadi terlalu besar. secara umum, volume pengiriman udara pemurnian tidak boleh melebihi 100.000 m; jika tidak, peralatan pengolahan udara terlalu besar, berisik, saluran udara baliknya besar, menempati ruang dan area yang luas, dan penggunaannya tidak fleksibel.

10, divisi sistem pengkondisian udara bersih juga harus mempertimbangkan saluran udara, saluran balik, saluran pembuangan dan air, listrik, gas dan tata letak pipa lainnya, sejauh mungkin untuk membuat manajemen yang wajar, pendek, mudah digunakan, mengurangi persimpangan dan tumpang tindih.

11. perlakuan panas, kelembaban dan pemurnian udara segar dalam sistem pendingin udara dapat terpusat atau terdesentralisasi

prinsip membagi sistem pembuangan udara lokal dari peralatan proses

1. sistem udara buangan parsial dari peralatan proses tidak boleh terlalu besar, dan titik udara buangan dari setiap sistem udara buangan tidak boleh terlalu banyak, sehingga manajemen dan penyesuaian udara buang nyaman dan efek udara buang baik .

2. satu sistem udara buang tidak boleh melewati dua atau lebih sistem pendingin udara.

3. udara buangan yang menghasilkan zat-zat yang sangat beracun, mudah meledak, terbakar, kondensasi, kristalisasi dan berbahaya setelah pencampuran tidak boleh digabungkan menjadi satu sistem udara buangan.

4. udara buangan ruangan dan peralatan yang berbeda tidak boleh digabungkan menjadi satu sistem udara buangan.

5. perbandingan dan pemilihan jenis pasokan udara dari sistem pendingin udara pemurnian kamar bersih

(A) pemurnian dan pasokan udara AC jenis gabungan pasokan udara, biasanya juga dikenal sebagai jenis pasokan udara terpusat. skema pemurnian unit pendingin udara (unit penanganan udara ahu) yang ditetapkan di ruang pendingin udara, pemurnian semua pasokan udara pemurnian udara dilakukan di unit pemurnian pendingin udara dan pengolahan panas, basah, dan saluran udara pasokan besar akan semua pasokan udara ke bagian atas kamar bersih turut berduka cita, repass terletak di langit-langit kamar bersih pada terminal hepa filter atau filter efisien untuk membersihkan outlet pasokan udara dalam ruangan yang disaring, untuk mewujudkan proses ruang bersih diperlukan suhu, kelembaban, kebersihan, dan perbedaan tekanan kamar, udara balik di ruang bersih melewati lubang udara masuk dan saluran udara balik, dan kemudian dihubungkan ke unit pendingin udara pemurnian di ruang pendingin udara. setelah dicampur dengan udara segar, pemurnian udara dan perlakuan panas dan kelembaban diulang. skema ini dapat dibagi menjadi skema pasokan udara segar penuh (sistem dc); satu program pengembalian udara; skema pengembalian udara pertama dan kedua dan skema mau plus ffu adalah empat jenis pasokan udara yang berbeda. Skema pasokan udara ini adalah skema pasokan udara yang paling banyak digunakan untuk kamar bersih, terutama kamar yang tidak mengalir satu arah. pembagian sistem dari skema pasokan udara ini jelas, dan volume udara, suhu dan kontrol kelembaban dan regulasi tunggal. Namun, ketika tingkat kebersihan lebih tinggi dan volume pasokan udara lebih besar, ruang AC menempati area yang luas, volume pasokan udara dan pipa udara kembali menempati area dan ruang yang luas, pasokan udara dan pipa udara kembali lama, tekanan residual dari kipas pasokan udara tinggi, kebisingannya besar, dan pasokan udara mengkonsumsi sejumlah besar listrik. oleh karena itu, skema pasokan udara ini lebih cocok untuk pasokan udara dari ruang bersih aliran non-searah tingkat rendah, dan kurang ekonomis dan masuk akal untuk pasokan udara kamar bersih aliran satu arah di atas level 5.

1. skema pasokan udara ahu dengan udara segar (sistem dc)

skema pasokan udara pemurnian udara segar penuh digunakan dalam skema pasokan udara khusus untuk kamar bersih di mana tidak ada udara balik yang diizinkan. misalnya, produksi proses kamar bersih diklasifikasikan sebagai tingkat bahaya kebakaran kelas a dan kelas b atau proses menghasilkan zat yang sangat beracun dan berbahaya lainnya yang tidak diizinkan untuk mengembalikan udara dalam sistem pasokan udara bersih.

2. skema pasokan udara dari ahu pengembalian udara primer

skema pasokan udara pengembalian udara primer biasanya digunakan di kamar yang bersih dengan nilai kalor yang besar atau hasil kelembaban, dan pasokan udara panas residu atau kelembaban dalam ruangan lebih besar dari, sama dengan atau dekat dengan pasokan udara pemurnian di kamar bersih satu arah mengalir dengan tingkat kebersihan rendah.

3. Skema pasokan udara AC pemurnian dengan ahu pengembalian udara primer dan sekunder

dalam rangka menghemat energi, menghilangkan panas udara dan panas dalam proses perlakuan panas dan kelembaban saling mengimbangi, di ruang bersih kapasitas pasokan udara pemurnian lebih besar dari kapasitas pasokan udara dari AC untuk menghilangkan sisa panas dan kelembaban, yang terbaik adalah menggunakan program pengembalian udara pertama dan kedua, desain titik pencampuran kedua di titik pasokan udara sistem, sisi ini adalah yang paling hemat energi, program pasokan udara yang paling ekonomis.

4. Skema pasokan udara +mau + rau untuk pendingin udara pemurnian

solusi ini untuk beberapa kebersihan kamar lebih bersih, suhu, kelembaban, persyaratan yang berbeda, hasil panas dalam ruangan dan kadar air juga serupa, untuk memastikan bahwa masing-masing kebersihan kamar bersih, suhu, kelembaban dan persyaratan presisi, untuk mengatur beberapa unit siklus, keluaran udara melingkar dari unit adalah untuk memurnikan keluaran udara, dan di dalam unit, mengatur panas yang diperlukan, peralatan proses basah, digunakan untuk menambah kekurangan panas unit udara segar, proses basah dan memastikan bahwa suhu ruangan dan kelembaban presisi bagian fine-tuning. karena unit sirkulasi terletak di langit-langit ruangan yang bersih, tekanan sisa pasokan udara unit sirkulasi relatif kecil, volume unit dan kebisingan dan getaran unit juga kecil, dan saluran udara kembali adalah relatif pendek. Namun, perlu memperhatikan pembuangan kondensasi unit sirkulasi. unit udara segar dalam skema ini terletak di ruang AC, dan semua udara segar yang diperlukan untuk kamar bersih ini dimurnikan oleh unit udara segar (mau) dan perlakuan panas dan kelembaban terpusat. kemudian didistribusikan ke setiap unit siklus dan dicampur dengan udara kembalinya. volume udara segar dari unit udara segar seharusnya tidak hanya menambah udara buangan dari setiap kamar yang bersih tetapi juga memastikan tekanan positif dari setiap kamar yang bersih. perlakuan panas dan kelembaban unit udara segar sebaiknya pergi ke titik embun mekanis udara di ruangan yang bersih. jika titik perlakuan panas dan kelembaban udara segar lebih rendah dari titik embun mekanis ruang bersih, udara segar tidak hanya akan menanggung beban basah dari udara segar itu sendiri, tetapi juga menghilangkan beban basah ruang bersih. pada saat ini, pendingin permukaan dalam unit sirkulasi dapat menjadi pendingin permukaan kering.

skema pemurnian pasokan udara dan pemisahan pasokan udara dari pengkondisian udara biasanya disebut skema pasokan udara semi terpusat atau terdesentralisasi. untuk sangat menghemat konsumsi energi dari runtime, akan menghilangkan panas yang tersisa dalam ruangan yang bersih dan keluaran udara AC basah (biasanya jauh lebih sedikit daripada ruang bersih untuk memurnikan keluaran udara), oleh unit unit kamar pendingin udara (mau) yang diperlukan untuk memurnikan dan memproses basah panas, dan total 50 hingga 90% dari jaminan kemurnian ruang bersih untuk memurnikan keluaran udara oleh ruang bersih di dekat unit sirkulasi untuk memurnikan dan menambahkan panas, pemrosesan basah, atau langsung menggunakan kepala pada unit filter kipas langit-langit) dan koil kering untuk mengatasi tingkat kebersihan ruangan bersih dan suhu fine-tuning. skema pasokan udara ini, yang dipisahkan dari pasokan udara oleh pendingin udara, tidak hanya dapat menghemat energi untuk operasi, tetapi juga sangat mengurangi area ruang pendingin udara, menghemat pasokan udara besar dan mengembalikan pipa, dan mengurangi ketinggian ruang bersih kamar. skema pasokan udara pemurnian tersebut dapat dibagi menjadi: skema unit pendingin udara (ahu) menambahkan skema fan filter unit (ffu), unit udara segar (mau) menambahkan skema unit siklus (rau) menambah (ffu); unit udara segar (mau) + unit fan filter (ffu) + tabung dingin kering

(dc) dan tiga skema pasokan udara lainnya.

1. skema pasokan udara dari unit pendingin udara ahu (mau) dan unit fan filter (ffu) dalam skema ini, semua panas dan basah dari sistem pendingin udara (panas dan basah yang dihasilkan di kamar yang bersih dan panas dan basah dari udara segar ) ditanggung oleh unit pendingin udara yang terletak di ruang pendingin udara. pada saat ini, pasokan udara dari unit pendingin udara adalah pasokan udara untuk menghilangkan sisa panas dan kelembaban sistem (termasuk semua udara segar dan beberapa udara balik, tetapi jauh lebih sedikit daripada pasokan udara pemurnian untuk memastikan kebersihan membersihkan kamar), dan itu harus dapat memastikan suhu konstan dan kelembaban relatif ruang bersih. kebersihan ruang bersih dipastikan oleh unit penyaring kipas (ffu) di langit-langit ruang bersih yang bersirkulasi dan menyaring pasokan udara murni. Perlu dicatat dalam skema ini bahwa panas yang dihasilkan selama pengoperasian ffu juga harus ditanggung oleh unit pendingin udara. Skema ini lebih cocok untuk Cleanroom aliran campuran dengan aliran searah vertikal parsial dalam Cleanroom aliran besar non-searah.

2. unit udara segar (mau) ditambah unit siklus dan unit filter kipas (kepala) untuk memurnikan skema pasokan udara AC, skema ini untuk beberapa kebersihan kamar lebih bersih, suhu, kelembaban, persyaratan yang berbeda, hasil dari panas dalam ruangan dan kadar air juga serupa, untuk memastikan bahwa masing-masing kebersihan ruangan, suhu, kelembaban dan persyaratan presisi, untuk mengatur beberapa unit siklus, keluaran udara melingkar dari unit adalah untuk memurnikan output udara, dan di dalam unit, mengatur panas yang diperlukan, peralatan proses basah, digunakan untuk menambah kekurangan panas unit udara segar, proses basah dan memastikan bahwa suhu kamar dan kelembaban bagian fine-tuning presisi. karena unit sirkulasi terletak di langit-langit ruangan yang bersih, tekanan sisa pasokan udara unit sirkulasi relatif kecil, volume unit dan kebisingan dan getaran unit juga kecil, dan saluran udara kembali adalah relatif pendek. Namun, perlu memperhatikan pembuangan kondensasi unit sirkulasi. unit udara segar dalam skema ini terletak di ruang AC, dan semua udara segar yang diperlukan untuk kamar bersih ini dimurnikan oleh unit udara segar (mau) dan perlakuan panas dan kelembaban terpusat. kemudian didistribusikan ke setiap unit siklus dan dicampur dengan udara kembalinya. volume udara segar dari unit udara segar seharusnya tidak hanya menambah udara buangan dari setiap kamar yang bersih tetapi juga memastikan tekanan positif dari setiap kamar yang bersih. perlakuan panas dan kelembaban unit udara segar sebaiknya pergi ke titik embun mekanis udara di ruangan yang bersih. jika titik perlakuan panas dan kelembaban udara segar lebih rendah dari titik embun mekanis ruang bersih, udara segar tidak hanya akan menanggung beban basah dari udara segar itu sendiri, tetapi juga menghilangkan beban basah ruang bersih. pada saat ini, pendingin permukaan dalam unit sirkulasi dapat menjadi pendingin permukaan kering.

ketika lebih dari satu di ruang bersih memiliki sejumlah tingkat 1, 10, 100 tingkat pemurnian tinggi uniflow cleanroom vertikal, untuk mengurangi beban unit sirkulasi (dia) dan untuk mengirim dan mengembalikan bagian saluran udara, sirkulasi unit hanya menyelesaikan keluaran udara AC kamar bersih uniflow, untuk memastikan suhu kamar bersih, kelembaban relatif dan tekanan positif cleanroom, dan sebagian besar menyumbang lebih dari 90% dari pengiriman terletak di langit-langit kamar bersih di kepala untuk membebani, untuk memastikan tingkat kebersihan kamar yang tinggi. 3. unit udara segar (mau) ditambah unit fan filter (head) dan tabung dingin kering (dc) dari rencana pasokan udara AC yang memurnikan adalah udara segar akan menjadi kru udara segar untuk membersihkan kamar panas basah dari garis dan kelembaban relatif di bawah garis 95% persimpangan, beban kelembaban udara segar dari kru tidak hanya itu sendiri, tetapi juga membebani beban kelembaban dalam ruangan bersih, unit udara segar untuk memastikan bahwa kelembaban relatif dari kebutuhan kamar bersih. beban pendinginan kering pada bagian yang tidak cukup dari perlakuan panas unit udara segar akan dilengkapi dengan pendingin permukaan kering yang terletak di langit-langit ruang bersih (atau di dalam terowongan). karena pendingin meja kering terletak di plafon gantung atau di dalam terowongan tempat udara bersirkulasi ffu lewat, beban pendinginan kering yang dibuat oleh pendinginan meja kering dibawa ke ruang bersih oleh udara yang bersirkulasi. udara segar yang diolah oleh unit udara segar dikirim ke kotak bertekanan statis pasokan udara di ruang bersih melalui pipa yang dapat dicampur secara merata dengan udara sirkulasi ffu. ffu diatur di langit-langit kamar yang bersih. udara yang bersirkulasi dicampur dengan udara segar disaring oleh ffu dan dikirim ke ruang bersih setelah disaring oleh filter hepa untuk memastikan kebersihan ruang bersih. spesifikasi ffu terutama 1200mm × 600mm dan 1200mm × 1200mm, yang kecepatan angin bagiannya harus ≥0.45m / s, tekanan residual harus ≥120pa, dan kebisingan harus ≤50db (a). Volume udara fan ffu harus disesuaikan, filter efisiensi tinggi harus diganti. koil dingin kering umumnya terdiri dari dua baris. untuk mengurangi jarak antara sirip aluminium dari resistansi ≥3mm, kerugian resistansi harus 30 ~ 40pa. kecepatan angin permukaan angin yang bersirkulasi melalui koil kering adalah & lt; 2m / s, dan lebih baik 1,5m / s. suhu air masuk ke dalam air dingin koil kering harus 2 ℃ lebih tinggi dari suhu titik embun di kamar bersih, biasanya disebut sebagai air dingin sedang. meskipun disebut koil kering, kondensat dapat dihasilkan selama operasi awal, sehingga koil kering juga harus memiliki baki tetesan kondensat dan langkah-langkah drainase.

dalam skema ini, kelembaban relatif dari kamar bersih dijamin oleh unit udara segar (mau), suhu kamar bersih dijamin oleh koil dingin yang kering, dan kebersihan kamar bersih dijamin oleh ffu. mau ditambah kepala dan pemurnian rencana pasokan udara AC AC, saat ini di negara kita dan industri mikroelektronika asing (ic), industri optoelektronik (tft - lcd, lcd, led, dll.) dan seterusnya di daerah yang luas, tinggi lokakarya tingkat kebersihan kebersihan tersedia secara luas, memiliki penyesuaian yang mudah, hemat energi secara signifikan, untuk beradaptasi dengan proses peningkatan, dan sangat menghemat area non-produksi dan keuntungan dari ruang non-produksi. selain itu, dengan pengembangan dan kemajuan teknologi bersih dan peralatan bersih yang berkelanjutan, efisiensi ffu fan terus ditingkatkan, konsumsi daya terus dikurangi, dan harga keseluruhan terus berkurang. investasi awal pada dasarnya sama dengan jenis skema pasokan udara lainnya, tetapi biaya operasinya sangat dihemat.