Kamar bersih adalah lingkungan terkendali dengan tingkat partikel dan kontaminan udara yang rendah. Peralatan yang terdapat dalam ruangan bersih dapat bervariasi tergantung pada kebutuhan spesifik dan persyaratan fasilitas. Berikut adalah beberapa jenis peralatan ruang bersih yang umum:

1. Sistem HVAC (Pemanasan, Ventilasi, dan Pendingin Udara): Ruangan bersih mengandalkan sistem HVAC untuk mengontrol suhu, kelembapan, dan penyaringan udara. Sistem HVAC memastikan pasokan udara yang disaring dan dikondisikan secara terus menerus untuk menjaga tingkat kebersihan yang diinginkan di dalam ruangan.

2. Filter Udara: Filter udara partikulat efisiensi tinggi (HEPA) atau filter udara partikulat ultra-rendah (ULPA) digunakan untuk menghilangkan partikel dan kontaminan dari udara. Filter ini dipasang di unit penanganan udara dan outlet pasokan udara ruangan bersih untuk menjaga lingkungan tetap bersih dan bebas partikel.

3. Bangku dan Tempat Kerja Bersih: Bangku bersih adalah tempat kerja tertutup yang dilengkapi dengan pasokan udara berfilter HEPA. Mereka menyediakan lingkungan lokal yang bersih dan steril untuk melaksanakan tugas tertentu, seperti menangani bahan sensitif atau melakukan eksperimen.

4. Pancuran Udara : Pancuran udara adalah ruangan yang dilengkapi dengan pancaran udara berkecepatan tinggi yang mengeluarkan partikel dari personel atau peralatan sebelum memasuki ruangan bersih. Bahan ini membantu mengurangi kontaminasi dengan menghilangkan partikel lepas dari permukaan dan pakaian.

5. Ruang Pass-Through: Ruang pass-through digunakan untuk memindahkan bahan dan peralatan antara ruang bersih dan area yang berdekatan tanpa kontaminasi silang. Mereka memiliki pintu yang saling bertautan yang memungkinkan satu pintu terbuka pada satu waktu untuk menjaga pemisahan area bersih dan tidak bersih.

6. Lemari Aliran Laminar : Lemari aliran laminar menciptakan aliran udara searah di seluruh area kerja, menyediakan lingkungan steril untuk menangani peralatan sensitif atau melakukan prosedur yang memerlukan tingkat kebersihan tinggi.

7. Perabotan Ruangan Bersih : Ruangan bersih dapat mencakup perabotan khusus seperti meja kerja baja tahan karat, lemari penyimpanan, kereta pemindah material, dan kursi yang dirancang untuk meminimalkan pembentukan partikel dan memudahkan pembersihan.

8. Sistem Pemantauan dan Pengendalian: Ruangan bersih dilengkapi dengan sistem pemantauan dan pengendalian untuk menjaga dan memantau parameter lingkungan seperti suhu, kelembaban, perbedaan tekanan udara, jumlah partikel, dan kecepatan aliran udara. Sistem ini memastikan bahwa kondisi ruangan bersih berada dalam kisaran yang ditentukan.

9. Peralatan Kontrol ESD (Pelepasan Listrik Statis): Tergantung pada kebutuhan ruangan bersih, peralatan kontrol pelepasan muatan listrik statis seperti lantai yang diarde, pakaian antistatis, tali pergelangan tangan, dan alas kaki dapat digunakan untuk mencegah kerusakan pada komponen elektronik sensitif.

Penting untuk diingat bahwa peralatan khusus di ruang bersih dapat bervariasi berdasarkan industri, klasifikasi ruang bersih, dan proses spesifik yang dilakukan di lingkungan ruang bersih.